2光束レーザー法による表面凹凸のリアルタイム測定法の検討

摘要

機械産業分野では，摩耗量や切削量を高解像度で，かつ運転中にリアルタイムに測定する方法やその装置が熱望されている。たとえば，この装置によって回転軸，回転軸受，ブレーキディスク等の交換時期が予知出来れば，過度の交換を不要にする経済的な効果ばかりでなく，不慮の事故を未然に防ぐことも可能となる。 また，微小な切削量をオンラインで実測し，その値を直接次の加工量にフィードバックすることができるようになり，加工機や被加工物の熱膨張による誤差を排除した精密加工が可能になる。 これにより，寸法計測のための機械停止が不要となり，加工時間の短縮とコスト低減にもつながる。 また，レーザー光や測定体を走査することによって，半導体素子や，機械部品等の表面凹凸状態をリアルタイムで測定することも可能となる。