Определение уровня расплава из реального весового сигнала в автоматизированном процессе выращивания кристаллов по способу Степанова (EFG) и использование перемещения тигля в качестве управляющего воздействия

摘要

Определен текущий уровень расплава из реального весового сигнала в автоматизированном процессе выращивания кристаллов по способу Степанова (EFG). При этом не требуется знания реальной формы растущих кристаллов. На основе численного решения капиллярного уравнения Лапласа произведен анализ использования перемещения тигля с расплавом в качестве управляющего воздействия, влияющего на форму менисков и растущих кристаллов.