プラズマによるDLC膜の合成と応用

大竹尚登; Naoto Ohtake

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プラズマによるDLC膜の合成と応用

机译：等离子体的合成与应用DLC膜

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ダイヤモンドライクカーボン（Diamond－LikeCarbon，以下DLC）膜は，ダイヤモンドの軍3結合とグラファイトの甲2結合の両者を炭素原子の骨格構造としたアモルファス炭素膜である．

机译：菱形碳（金刚石 - LikeCarbon，DLC）膜是一种无定形碳膜，具有金刚石3键和石墨的2键，作为碳原子的骨架结构。

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来源
《ケミカル·エンジニヤリング》 |2008年第3期|共8页
作者
大竹尚登; Naoto Ohtake;
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作者单位

名古屋大学大学院工学研究科マテリアル理工学専攻;

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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类化学工业;
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