光熱高周波振動励起を用いた超高分解能原子間力顕微鏡

摘要

本報告では，原子間力顕微鏡 (atomic force microscope, AFM)の光学系として，力検出用カンチレバーの変位（たわみ，ねじれ）や速度の検出にヘテロダインレーザードップラー計~(1))を，振動励起にレーザーダイオード (laser diode,以下 LD)の光量変調を用いた光熱励振~(2,5))について報告する．原子間力顕微鏡の性能は，基本的には使用している探針の先端の状態と，探針を支持しているカンチレバーの機械的特性によって決定されるが，振動検出系や作動パラメーターも重要な要素である．一般的に，カンチレバーの周波数を高め，振幅を小さくすることは，いくつかの利点をもたらす．