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ヘテロエピタキシャル成長; OMVPE法; X線CTR散乱法; III族組成分布; V族組成分布; Heteroepitaxy; OMVPE; X-ray CTR scattering; Group-III atom distribution; Group-V atom distribution;
机译:X-射线CTR散射法根据膜厚和生长温度分析III-V族化合物半导体量子阱结构中III族组成分布
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