大気圧プラズマ技術の応用－プラズマ処理装置「Aiplasma」の実用化事例

摘要

大気圧プラズマの技術開発がグローバルに大きな進展を見せている．応用分野は，エッチング，表面改質，洗浄，薄膜形成，殺菌，ガス浄化など多岐にわたる．当社では誘電体バリア放電を応用した，業界初の大気圧プラズマ処理装置「Aiplasma」を上市した．本稿では，その実用化事例を紹介する．