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机译:硅衬底上的三维微机械金刚石Birdbath壳谐振器
Shanghai Jiao Tong Univ Natl Key Lab Sci &
Technol Micro Nano Fabricat Shanghai 200240 Peoples R China;
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机译:三维微机械硅衬底集成毫米波螺旋天线
机译:三维堆叠硅对金刚石基板静电放电保护装置的影响
机译:微加工多晶金刚石半球形壳谐振器
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机译:在掺杂硅衬底上生长的纳米晶金刚石膜的CO2激光微加工