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机译:使用激光圆盘切割硅晶片
Silesian Tech Univ Welding Dept 18a Konarskiego St PL-44100 Gliwice Poland;
Silesian Tech Univ Welding Dept 18a Konarskiego St PL-44100 Gliwice Poland;
Polish Acad Sci Inst Met &
Mat Sci Krakowska 22 PL-43340 Kozy Poland;
Silesian Tech Univ Inst Engn Mat &
Biomat Konarskiego St 18a PL-44100 Gliwice Poland;
laser cutting; silicon wafers; confocal laser-scanning microscope; scanning electron microscope;
机译:使用激光圆盘切割硅晶片
机译:激光切割硅晶片中的非偏见传播机制,激光诱导热裂纹传播
机译:激光诱导热裂纹扩展的激光切割硅玻璃双层晶片
机译:曲线切割ZrO_2陶瓷和冷却下表面切割硅晶片,具有激光诱导的热裂纹传播
机译:在短脉冲持续时间内,在金属化和钝化的硅晶片上形成激光激发的接触。
机译:直接激光熔化硅晶片上的硅外延生长
机译:通过液 - 液提取方法分离硅晶片切割废料中的碳化硅和硅的分离
机译:激光等离子体在Zr-2.5Nb CaNDU压力管材料和硅片上用脉冲高功率CO(sub 2)激光器生成无氢类金刚石碳薄膜