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机译:一种组分化学放大抗蚀剂,由聚合物锍盐PAG组成,用于高分辨率图案
Beijing Normal Univ Beijing Key Lab Energy Convers &
Storage Mat Coll Chem Beijing 100875 Peoples R China;
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PAG bound polymers; Sulfonium salt; Chemically amplified; Positive photoresists; One-component; KrF photolithography;
机译:一种组分化学放大抗蚀剂,由聚合物锍盐PAG组成,用于高分辨率图案
机译:固态Salt盐的电子束诱导反应对化学放大电子束的抵抗;与光解反应的比较
机译:将离子光产酸剂(PAG)和碱淬灭剂掺入抗蚀剂聚合物主链中,以进行低于50 nm的分辨率构图
机译:利用新型负化学放大抗蚀剂对高分辨率图案的研究
机译:砷化镓晶片的表面化学研究在化学放大的抗蚀剂构图过程中进行,并通过荧光进行抗蚀剂研究。
机译:通过使用非化学放大的抗蚀剂和曝光后烘烤来制造具有改善的线边缘粗糙度的高分辨率掩模
机译:化学放大抗蚀剂VI。来自2-氧氧己基 - 环己基甲基锍盐的光化学质子产生机制。