東レ、低温硬化·ポジ型感光性ポリイミド開発～次世代半導体向け

摘要

東レは、170°Cの低温硬化が可能な次世代半導体保護膜向けコーティング剤「低温硬化型ポジ型感光性ポリイミド」を開発した。同製品は硬化後の残留応力が13MPa（メガパスカル）以下と小さく、従来製品と比較して約半分の低応力を実現。すでに低温硬化·低応力が求められる次世代半導体向けを中心に、多数の大手半導体メーカーで評価が進hでいるという。同社は感光性ポリイミドコーティング剤「フォトニース」の新シリーズ「LTシリーズ」として近く販完を開始する予定で、本格販売に向け営業を加速する。