次世代半導体「低温硬化型感光性ポリイミド」開発低温焼成と環境に優しいアルカリ琭像の乮立を実琭-東レ

摘要

東レ㈱は，200℃以下の低温硬化ができ， かつ環境に優しいアルカリ現像が可能な感 光性ポリイミドコーティング剤の創出に世 界で初めて成功した。独自の分子設計技術 で，これまで不可能だった低沸点の安全溶 媒に溶解し，アルカリ水溶液で現像できる 新規ポリイミド樹脂を開発して，樹脂と感 光成分をナノレベルで相溶化させることで 達成したもの。