CF4四弗化炭素アジア市場活性化国内は横ばい推移

摘要

四弗化炭素（CF4）の13年国内需要量は、前年比ほぼ横ばいの、約480tで推移した模様だ。エッチング系ガスを代表する同ガスは例年470～490t台を維持しており、最近ではルネサス国内工場の統廃合といった半導体業界再編の動きはあったが大きくは影響せず、13年も安定推移した。