半導体、液晶、PV、LEDと排ガス処理のトータルソリューションを提案

摘要

半導体·液晶·太陽電池（PV）またLEDのプロセス排気ガス用除吾装置の紹介をメインとして出展する。これらのうち電気ヒーター式では「KT1000MFS」、大気圧プラズマ式では「KPL－W08」を実機展示する。前者は電気ヒーター式の特性を最大限活用して、SiH4、H2、NF3、NH。などのガスの大流量処理にも対応可能である。