サーマルセンサPIMFCZ700シリーズを開発。CVD、拡散などのプロセス対応

摘要

Z700シリーズは一時圧力センサを組み込み、レギュレータなしで流量制御変動をなくした。エッチャー向けMFCに先行開発したクライテリオンは減圧対応であったが、二次側が大気圧でも可能でCVD、熱処理など幅広い条件で応用できるのが特徴。枚葉式装置向けである。また、オプションで自己診断機能を保持できる。