有機シラン系SAM形成の高速?低温?大面積化と表面ナノスケール構造体形成への応用

摘要

有機分子が自発的に集合して形成される単分子膜は、自己組織化単分子膜(SAM;Self-Assem-bled Monolayer)とよばれている。膜厚が0.5?2.5nmという分子1個分の大きさであり、省資源の究極の薄膜といえる。このSAMは、これからの表面処理および表面ナノスケ一ル構造体形成分野において重要な役割を果たすと考えられる。