大気圧熱プラズマによる各種プロセッシングへの応用

摘要

プラズマには1万°C以上の高温を有する熱プラ ズマと、温度が常温から数100°C程度の低温プラ ズマがある。熱プラズマは大気圧下においてほぼ 熱平衡状態のプラズマであるが、プラズマから編 射によって散逸するエネルギーを同じ機構で補う ことは難しいので、厳密な意味での熱平衡状態は 実現しにくい。ただし、中性粒子、イオン、電子の 温度がほぼ等しく、組成も平衡状態に近いプラズマ をつくることは比較的容易であり、これを局所熱平衡（LTE：Local Thermodynamic Equilibrium）と呼hでいる。