隠れ実験で微細加工技術とその材料を開発

摘要

従来から行われている半導体微細加工は加ほとhどがフオトな用い、マスクを介して短波長の·光を当てるという方式であったか、ここにき、て、射出成形やプレス加工の原理を用いてパタ?-ソを転写するという全く新しい発想の御用加工技術が開発された。 ナノ·インプリント技術と呼ぼれるての新しい微細加工技術とパタ-ソフ幅が狹くなるほと高偶になる現状の微細加工に比べて、低価格で精度の良い加工かできる可能性が大きいため、次世代微細加工技術のーつとして最近注目を浴びるようになった。 今回は、上記ナノ。 インプリント技術と、そのための感光性材料を開発した東洋合成工業（株）の感光材亊業本部、マイクロ研究グループの坂井信支氏にお話をお伺いした。