SiCパワーデバイスの動向と展望

摘要

インバータエアコンやハイブリッド自動車、新幹線などにも使われ省エネ·環境保全のキーデバイスとしてますます重要性が高まっているパワーデバイス。 現在使われているSi半導体はデバイス構造の工夫や独自のプロセス技術の開発により目覚しい進歩を遂げてきたが、その性能改善は限界に近づいてきている。 ポストSiのパワー半導体材料として注目されてきたSiCがウエハー品質の向上、プロセス技術の進展により俄かに現実味を帯びてきた。本稿では、SiCパワーデバイス開発の動向と展望について述べる。