昭和電工、秩父事業所で新SiCエピウエハを増強～量産開始

摘要

昭和電工は秩父事業所（埼玉県秩父市）で、パワー半導体の材料であるSiC（炭化ケイ素）ェピタキシヤルウエハの高品質グレード「ハイグレードエビ（HGE）」の増強を行い、量産を開始した。同製品は2015年10月より月産1，000枚体制でサンプル出荷を行ってきた が、顧客からの評価も良好なため3，000枚体制を確立し、量産を開始した。これにより同 工場のエビウエハの総能力は従来グレードの2，500枚を合わせて5，500枚に拡大したが、今 後は2017年頃までに販売のほとんどが新製品に置き換わると見ており、市場の状況をみて 次期増強も検討する。