Особенности синтеза тонких пленок Bi-Nd-Fe-O на подложке (0001)Al_2O_3 при газоразрядном распылении мишени Bi_(0,95)Nd_(0,05)FeO_3

摘要

На грани (0001)Al_2O_3 газоразрядным распылением керамической мишени Bi_(0,95)Nd_(0,05)FeO_3 выращены пленки Bi-Nd-Fe-O. Качественное соответствие элементного состава мишени и пленки подтверждено данными спектрометра DX-95 фирмы EDAX и изготовленного в НИИ физики ЮФУ рентгеновского спектрометра РФС-001 со спектрометрической схемой на основе полного внешнего отражения первичного излучения. В видимом диапазоне длин волн обнаружена высокая дисперсия коэффициента преломления и поглощения материала пленки. Данные рентгеноструктурного анализа ("Дрон-7") и атомно-силовой микроскопии по распределению размеров шероховатости (максимум -10 нм), а также данные по толщине пленки из угловой зависимости интенсивности зеркального оптического отражения в видимом диапазоне длин волн позволяют говорить о возможном аморфном состоянии пленки.