クリーンルーム内装工事の工期短縮とコストダウン - 三機工業クリーンルーム技術の紹介

摘要

クリーンルームの総合エンジニアリング会社として、三機工業は時代の最先端のクリーンルーム技術を研究、開発、提供している。 特に半導体向けクリーンルームにおいては、製品の集積度·微細化に対応した適切な清浄度、温湿度、ケミカル制御等のシステム構築をリードしてきた。 近年、生産ラインのミニエンバイロメント化、ミニファブ化に対しクリーンルームの形態も新たな局面を迎え、局所クリーン技術の解析とボールルーム型クリーンルームの諸問題の解決が急務であるとともに、半導体産業の国際競争力を支えるために、高品質クリーンルームを低コスト·短工期で建設することが最大の命題になっている。