環境クリーン化のための排ガス処理装置の動向と課題：環境問題は企業経営を支える産業戦略のひとつ。環境負荷低減策の要はプロセス開発

摘要

本誌1997年11月号の特集「排ガス処理設備」にて『排ガス処理設備の技術動向』を述べた。それから5年後改めて半導体製造ライン向けの排ガス処理装置（除害装置）について考えを述べたい。 5年前の排ガス処理装置に求められる機能は、① イニシャルコストの低減② ランニングコストの低減（特に処理薬剤の低コスト化）③ 装置コンパクト化④ メンテナンスの効率向上⑤ 高い処理能力（薬剤の長寿命化）などであった。