京都議定書《CO{sub}2削減》に貢献するクリーンルーム空調省エネ技術III：気体流量測定で省エネと省資源を実現－MFCの山武藤沢工場での適用事例紹介

摘要

気体の流量測定は今までは高価なガスに限定されて、圧縮空気などでは重視されてこなかった。 気体の流量測定は重量や圧縮度や温度により大きく異なり、正確な測定が困難であった。 体積流量でなく質量流量を簡便に測定することが可能となり、ユーザー側では補正を行うことなく直読可能になり、モニタリングシステムとの連動もでき本格的な活用時期に入った。 特に一定量を供給できるマスフローコントローラは、ガスの混合などを主に大きな市場になってきている。質量流量計の測定原理、特徴、気体流量測定する場合の要求事項を整理する。 自社製MFC（マスフローコントローラ）を当社藤沢工場で用いてユーテリティの省エネと省資源ならびに品質向上に貢献をした事例を紹介する。