無停電電源装置（MPC方式瞬低補償装置）：工場向け大容量瞬低·停電補償装置の動向

摘要

半導体生産工程では、デザインルールの微細化や12インチウェハなど大口径ウェハの採用による生産効率の向上、システムLSIなどの高付加価値製品の増大が進み、瞬低·停電が発生して生産装置や動力が停止したときの被害規模は増大している。 ここでは、瞬低·停電対策に使用されるUPSの各種方式の特長の紹介と、最近導入事例が増加しつつある大容量瞬低補償装置による高圧フィーダー括補償の例として、MPC (Multiple Power Conversion)方式高圧瞬低補償装置を紹介する。