電子部品の信頼性設計講座 (9) - 溶解による内部観察

摘要

前回はアルミ電解コンデンサの解析方法を簡単に説明したので、今回はほとんどの電子部品に使用されているエポキシ樹脂を溶解して内部を観察する方法について解説する。 溶解するとは言ったが、エポキシ樹脂のような熱硬化型の樹脂を溶解する有機溶剤はまだ発見されておらず、IC、LSIのパッケージに使用されているフェノールノボラック型のエポキシ樹脂は、加熱しても溶解せずに350℃ぐらいから徐々に分解して最後にはカーボンなどの残骸が残るだけであるために、故障解析には加熱分解は使用できないのである。しかし、80℃程度に加熱した発煙硝酸に浸すとエポキシ樹脂は発煙硝酸の強烈な酸化作用によって分解されるので、故障解析に使用することができる。