磁石に対するセンサの位置を高精度に読み取る：直線移動の位置を1cmの距離から0.5μm精度で検出するセンサ

摘要

一般的に，光学式リニア·スケールまたは磁気テープ式リニア·スケールの場合，検出ギャップは最大0.5mm程度です．スケールからセンサ部が0.5mm以上離れることがないよう，機械的な精度が必要です．それに対して，ここで紹介するリニア·スケールは最大検出距離が15mmです．装置の精度が出しにくいタイヤ走行搬送台車などのリニア·スケールとして使用できます．