СОСТАВ И СТРУКТУРА ПЛЕНОК ОКСИДОВ МЕДИ, СИНТЕЗИРОВАННЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ГОРЯЧЕЙ МИШЕНЬЮ

摘要

Методами комбинационного рассеяния света и рентгенофазового анализа исследовано влияние режима работы мишени на химический состав и кристаллическую структуру пленок оксидов меди, осажденных на подложку из кварцевого стекла. Синтез пленок проводили в газовой среде Аr + О2 с помощью двух идентичных магнетронов, отличающихся только способом охлаждения мишени.