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【24h】

輪郭振動型AlN振動子の高Q化:Mo/AlN/Mo構造輪郭振動型振動子の形状とQ値の関係

机译:轮廓振动型AlN振荡器的高Q值:Mo / AlN / Mo结构轮廓振动型振荡器的形状与Q值的关系

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摘要

高いk~2と高いQ値を実現可能とする輪郭振動型振動子を目的に、振動子の支持部が弾性振動の影響を受けない音叉構造を提案。作製プロセスの最適化による共振器形状の改善効果により、k~2とQ値の積であるFOMが反共振周波数で94と良好な電気特性を実現。
机译:为了能够实现高k〜2和高Q值的轮廓振动型振动器,我们提出了一种音叉结构,其中振动器的支撑部分不受弹性振动的影响。由于通过优化制造工艺来改善谐振器形状的效果,FOM是k〜2与Q值的乘积,在反谐振频率下可获得94的良好电特性。

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