第1回 超音波モータ·アクチュエータ国際ワークショップ：超音波モータ駆動高精度位置決めステージ－位置決め精度5nmを実現

摘要

キヤノンプレシジョン㈱では、超音波モータを搭載した高精度直動位置決めステージシステムを開発·商品化している。 昨年、独自の技術で、5×10{sup}(-9)m（5ナノメートル）の位置決め精度を達成するに至ったのでここに紹介する。 この精度がどのような物であるか簡単に述べる。 10{sup}(-9)mが1nmにあたる。 5nmを身近なものさしに置き換えると、例えば、当社が所在するりんごの名産地である古都弘前市に東京から旅をする。 東京～弘前駅間が約740kmある。 1mに対する5nmに相当する量は、東京～弘前駅間でりんごの種ほどの大きさを表している。 もしくは、東京駅で望遠鏡を覗いたとしよう。 弘前駅にある物を±3.7mmの誤差で繰り返し同じ景色を捕捉することができることになる。 実際には空気の揺らぎや建物などの障害物がありそのようにはならないとは思うが、5nm精度を表現すると、このような驚異的な量になるのである。 このような精度を超音波モータを駆動源とした位置決めステージシステムは提供することができるのである。