荏原製作所:新型排カス処理装置処理能力は従末型の35借

摘要

排ガス処理装置の製造販売を手掛ける荏原製作所（矢後夏之助社長·資本金612億円·東京都大田区）　は9月より、最大許容流量が350l／minであった従来型「G5」と比べ、約3·5倍の処理能力を持つ燃焼式排ガス処理装置「G6」の販売を開始した。大型半導体工場や太陽電池工場など大量にガス処理を必要とする現場に対応する。同装置は、LEDや薄膜シリコン太陽電池工場などで用いられるプロセスガスやクリーンガスの消費量が近年増加していることに伴い、2008年に発売された「G5」の処理能力を向上させたものである。