排ガス処理装置とSi回収·再生システムを出展

摘要

「ワイヤソースラリーリサイクルシステム」、燃焼式排ガス処理装置「UPTIMUM」、「GIANT」、「ESCAPE」シリーズ、同装置用電気集塵ユニット「EDC」を出展する。今回、模型·テスト機で展示するワイヤソースラリーリサイクルシステムは半導体·太陽電池用シリコンインゴッドをワイヤソーで切削する際に排出するスラリーをシリコンとして再利用するもの。