産業ガスと電子機械共同出展。高濃度オゾン濃縮ユニット、チップ用レーザ捺印機

摘要

今回両本部が初の共同出展。ガス関連では同社独自開発の高濃度オゾン技術をもとにオゾン水用濃縮ユニットを開発、シャープマニファクチャリングシステムのオゾン水洗浄システムと組み合わせたシステムを構築。これによって従来のオゾン水のオゾン濃度を200ppmと2倍にし、レジストの除去速度向上や大面積対応を可能とし、生産性効率の向上をはかる。