新製品の高純度半導体製造プロセス用低圧標準流量タイプ圧力調整器「L26」

摘要

新製品は高純度半導体製造プロセス用低圧標準流量タイプ圧力調整器「L26」。従来モデルの「L25」との比較で、構造の最適化でガス放出時の圧力降下量を半分に向上（流量特性5％向上）、パーティクル0.1μmノーカウントにグレードアップ（Uグレード·特殊研磨処理）、圧力調整ハンドルの形状を変えたことにより持ち易く操作性を向上させている。