極低加速SEMによる材料表面の二次電子像観察

摘要

走査電子顕微鏡（SEM）は、試料調整や操作の容易さ、像解釈の容易さに加え分析機能を有することなど数多くのメリットを有しており、鉄鋼材料の表面形状や断面形状を観察する手法として広く普及している。我々は、SEMによる材料極表面の解析を目的として、1 kV以下の極低加速電圧を含めた広い加速電圧範囲での二次電子像観察技術の確童を目指している。