レーザー超音波：パルスレーザ走査法による三次元任意形状物体表面を伝わる超音波の映像化

摘要

超音波発振用のパルスレーザを走査することによって固体表面を伝わる超音波を映像化する方法を提案する。本手法は、受信プローブを走査する従来の映像化法に比べ、(1)曲面や段差、くぼみを有する複雑形状物体を伝わる超音波を映像化できる(2)レーザ入射角や焦点距離の調整が不要なため作業性に優れる(3)検出感度が高い(4)広い領域を伝わる超音波の映像を遠隔から短時間で計測できる、等の優れた特徴を存しており、フィールドでの欠陥探査にも有効に適用できるものと考えられる。