触針式形状測定プローブによる微細形状の測定－微小先端半径を持つスタイラスによる測定

摘要

近年、微細かつ複雑な形状を超精密に測定する必要性が高まっている．著者らはすでに低接触圧の超高精度測定プローブを開発し、機上に搭載して各種測定試験を行い，その精度を検証して来たが、今回さらに微小な形状の測定に対応するために微小先端半径(～2μm)を持つスタイラスを開発し測定実験を行ったところ、測定精度は45度までの傾斜で±0.1μmが確料でき、さらに微細な溝形状の測定も可能であった．