クリーンルーム：大型液晶製造装置向 スクラバ－微粉体回収装置一体式 －大容量燃焼式排ガス除害システム

摘要

最近、液晶製造設備は現在の第4世代から、第5·6·7世代への大型化が急速に進んでいる。 液晶パネルの大型化に伴い大量のプロセスガスを消費するため、反応及び除害後に発生する大量の粉体が問題となり、処理装置の安全対策や、環境への配慮がますます重要な課題となっている。 当社は、ドイツDAS社と共同で半導体製造装置向けの燃焼式除害装置「ESCAPE INLINE」シリーズは全世界で1，500台以上の納入実績を有しており、このノウハウを生かして、液晶用の大容量除害装置「ESCAPE GIANT」を開発したので、これを紹介する。