超精密切削加工 No.124：小径レンズ金型の超精密ELIDマイクロ研削加工

摘要

近年の情報社会の発展とともに光通信用のマイクロ非球面レンズ、携帯電話やデジタルカメラなどに使用される非球面レンズ、その他複雑形状を有したマイクロデバイス部品などは、そのニーズが増大·多様化し、使用されるレンズや導光板など光学部品の製造にはさらなる高精度化、高能率化が要求されている。 このような光学部品の製造に使用されるガラスレンズ成形ヤプラスチックレンズ成形金型の製造においても、超精密加工機を用いて、よりいっそうの高精度化、高能率化、高鏡面、微細加工の要求が求められている。 本研究では、超精密非球面自由曲面加工機に取り付けた斜軸砥石回転軸に対して、超精密研削法の1つであるELID研削法を複合させ、小径の非球面レンズ金型加工について検討を行った。 本報では、ELID研削法によるマイクロレンズ金型加工、ならびに3軸同時制御（XYZ軸）による斜軸砥石加工の検討を行ったので報告する。