ボレート系非線形光学結晶を用いた真空紫外光発生－CLBOを用いた189nm光発生と紫外光経時劣化特性の評価

摘要

近年，高集積度半導体デバイス製造分野において集光性に優れた紫外レーザー光が求められている．非線形光学結晶を用いた波長199nmのパルス全固体光源［1］搭載のフォトマスク微小欠陥検査は，2007年にhp45-32nmノード世代対応機種として稼働を始めたが，2011年にはhp20nmノード以下のデバイス向けマスクの検査，さらにはEUVマスクの検査も可能な状況まで技術が向上している［2］．本研究では，現行検査波長よりも10mm短い189nm付近の真空紫外（VUV）光発生を，ボレート系結晶を用いて検討した．特に，薯者らが開発を進めてきたCsLiB_6O_(10)（CLBO）を中心に評価した．CLBOは300nm以下の紫外光波長変換特性に優れ，190nm台のVUV光発生でも実績がある材料である［3，4］．本稿では180mm台の波長変換効率等を報告したい．また，パルス紫外光発生時（波長266mm）に生じる出力，ビーム形状の経時劣化に関しても述べる．