高精度·高感度の水位検出用MEMS微小圧力センサ

摘要

洗濯機などの水位検出用微小圧力センサにおいて，高精度·高感度MEMS応用センサチップと応力絶縁実装構造の開発によって，従来品の4倍の感度を有する半導体ピエゾ抵抗式微小圧力センサを実現した。 このセンサは，高感度化に伴う熱応力によるセンサチップの周囲温度特性の悪化に対してはガラス台座を用いないセンサチップ構造で，実装基板やセンサパッケージからの外乱応力による周囲温度特性の悪化に対してはダイボンドの材料や塗布仕様で解消しており，総合精度±2.5％FS以下（0～+70℃，耐環境性試験による特性変動を含む）という高精度·高信頼性を維持しながら，0.667V/kPaという高感度も実現している。