真空柴外光で拓く環境調和型プロセス-真空紫外領域における光源る開発とその応用技術の開発-

摘要

披長がおよそ100nmから200nmの領域は眞空紫外（Vacuum Ultraviolet, VUV）領域と呼ばれる．火気環境下では存在しない波長城である．真空紫外領域の光（VUV光）の持つ光子エネルギーは，6、12eVであり，ほとんどの物質の吸収端と同等あるいは吸収端より大きなエネルギーに相当する．したがってVUV光は物質表面で強く吸収され，物質の価電子帯にある電子を伝導体に効率よく励起することができる．さらに光子エネルギーがほとんどの有機·無機の化合物の結合エネルギーより大きいことから，化学変化相変化，形態変化などを，光子エネルギーを利用した光化学作用として容易に誘起することができる．この性質を利用したVUV光プロセスでは，新材料の合成·分解あるいは材料表面の改質などを低温で行うことができ，さらには反応性のガスや潜傑等を用いることなく，光子エネルギーのみで，分解·改質を誘起することが可能である．したがってVUV光は，光科学·光化学分野あるいは光物性物理分野においても興味ある披長城の光である．また，産業分野においても，熱源に係るエネルギーあるいは溶媒等の消費量について，大幅な削減が可能となり，VUV光に皐る低環境負荷型プロセスを実現することによる次世代高付加価値型モノづくりが期待されている．