2次元光電子分光法による酸化物半導体/絶縁膜界面の電子構造解析

摘要

酸化物半導体は次世代ディスプレイの薄膜トランジスタ（thin－film transistor，TFT）材料として期待されている．2次元光電子分光法を用いて酸化物半導体の電子状態を評価し，熱処理による変化は界面とバルクで異なることがわかった，本稿ではTFTの概要と放射光の特長を生かした解析手法について紹介する，スマートフォンやタブレット端末の登場によって，ディスプレイ産業はパラダイムシフトを迎えつつある．ディスプレイはテレビのような大型パネルと，携帯端末のような中小型パネルに大別される．一見すると同じ画像表示装置に見えるが，要求される仕様はそれぞれ異なる．日本のディスプレイ産業においては，大型パネルから中小型パネルへの転換が進んでいることはさまざまな報道からご存じの方も多いと思う，