走査電子顕微鏡の基本と最近の動向

摘要

走査電子顕微鏡（ScanningElectron Microscope：SEM）1）は，表面観察の道具として普及している．試料調整と操作が透過電子顕微鏡（TransmissionElectronMicroscope：TEM）と比較して平易であることから，光学顕微鏡同様，多くの研究機関や製造現場で使われている．