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DLC膜の構造科学

机译:DLC膜的结构科学

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摘要

DLC膜はアモルファス炭素膜の俗称である.アモルファス炭素のうち,特に工業的利用価値の高い材料を指して呼ぶことが多い.約40年前,DLC膜はダイヤモンドに近い構造を有する膜という意味合いを持っていたが,最近はどうだろうか.DLC膜構造解析の最前線を紹介する.
机译:DLC膜是非晶碳膜的俗称。在无定形碳中,通常将其称为具有特别高的工业实用价值的材料。大约40年前,DLC胶片的含义是具有类似于钻石的结构的胶片,但是现在呢?介绍DLC薄膜结构分析的最前沿。

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