マイクロ波のプラズマ－シース境界伝播を利用したプラズマCVD法による細穴内面へのDLC成膜

摘要

精密金型，インジェクターのノズルなどの小型かつ高度な金属製機械部品において，内径がミリメートルサイズ以下の細長い内面形状へのDLC成膜が必要とされつつある．このような細長い穴内面へのDLC成膜は，従来法では困難であった．本稿では細穴内面へのDLC成膜に必要な技術要件と，それらを満たす新しい手法：マイクロ波のプラズマ－シース境界伝播を利用した高密度プラズマ生成法，および同手法による細穴内面へのDLC成膜結果の解説を行う．