ボロメータ型非冷却赤外線センサ

摘要

ボロメータ型非冷却赤外センサの技術要素について述べてきた．まとめると，ボロメータ材料，熱分離構造，読出回路，真空パッケージ及び，ここでは述べなかったが，画像処理回路，これらの要素が揃って初めて製品化が可能となる．弊社は同センサ開発を1990年初頭から行ってきた．5つの技術要素の中でも一番時間がかかるのは，材料開発とそれに関するプロセス開発である．諦めずに息の長い仕事をしていくことが肝要だと考えている．筆者の本解説記事が，この種の仕事を行う方々への一助になれば幸いである．