表面プロセス解析研究分野

摘要

本研究分野では，機能性多層膜の界面や固体の微小領域などの電子状態を主として極紫外·軟X線を用いて研究している．また，併せて軟X線多層膜を用いた顕微分光技術の開発も行っている．2006年の研究活動は以下のように概括される．