量子プロセス設計研究分野

摘要

本研究分野は，レーザーを中心とした高輝度光源を利用した新しい素材·材料プロセスおよび新しい分析·評価方法の開発を目指している．具体的なテーマとして現在は, レーザー光を用いた素材精製プロセスの基礎研究や新素材創製プロセス，微細構造作製プロセス，原子ビーム表面分析·評価法などの開発を進めている．本年度は2名の修士課程学生が課程終了し，新たに3名の修士課程学生が研究活動に加わった本年度の主な研究成果は以下の通りである．