クリーンルーム用ロボット：LCDパネル用セル製造ライン向け搬送ロボット

摘要

現時点で量産が開始されているガラス基板の最大サイズは，7.5世代の1950mm×2250mmで，42"のパネルの8面取りが行える。 また，第8世代のサイズ2160mm×2460mmでは46"パネルの8面取りが可能である。 ガラス基板の大型化に伴い，ガラス基板を搬送するロボットも開発が進んでおり，既に8世代に対応したロボットが実用化されている。 本報告では，セル工程の主要装置であるシールディスペンサと真空貼り合せ装置の動作について述べる。さらに，これらの装置にガラス基板を搬入，あるいは搬出するクリーンロボットについて，ロボットに要求される機能と代表的なメーカの仕様について述べる。