SiC基板表面における浸漬法による自己組織化膜形成－Study on self-assembled monolayers by the immersion method on SiC substrate

摘要

高品質なGaN膜の結晶成長を実現するため、ペプチド素子の自己組織化を用いたSiC微細加工法を提案する。本手法は、ペプチド素子のもつ電荷と、化合物基板の電気陰性度の違いを利用した自己組織化により、ペプチド素子を数nmオーダーで規則的に配列させる。浸漬法によりSiC基板上にペプチド膜を作製した結果、nmオーダーの繊維状ペプチドの堆積に成功した。ペプチド素子の堆積は、浸漬初期段階では規則性をもたない粒子状の堆積だったのに対し、十分な日数の浸漬により規則性をもった繊維状に堆積することがわかった。